酸氣的產生來源有很多,在電子、化工、電鍍、五金、鋁材、電氣、醫藥、印染等機械加工行業都會產生。產生的酸氣種類有:鹽酸(HCI)、氟化氫氣體(HF)、硫酸霧(H2SO4)、鉻酸霧(CrO3)、氫氰酸氣體(HCN)、硫化氫氣體(H2S)、福爾馬林(HCHO)等水溶性氣體。排出的酸氣不僅會加重水體的污染,還會影響人們的健康。今天以電子芯片廠為例,為大家講解酸氣處理設備,噴淋塔是如何工作的。
1.芯片廠酸性廢氣概述
芯片廠在生產工藝中使用各種酸液清洗、刻蝕芯片等過程中產生HF、HCl、硫酸霧等酸性氣體。對于芯片廠企業在生產工藝過程中產生的腐蝕性氣體(如酸、堿性廢氣)的治理,目前大多企業采用液體吸收法治理,采用液體吸收法治理該廢氣,關鍵在于酸氣處理設備的選擇。酸性廢氣治理通常采用噴淋塔,通過酸堿中和反應來凈化酸性氣體。